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石英舟的清洗和饱和处理方法

2021-08-04 16:25:59

石英舟是什么?相信大家通过我们的产品介绍,已对此有所了解。对,石英舟又名石英玻璃,是一种二氧化硅高含量的耐酸材料。它独特的物理属性,决定了它的清洗和饱和处理方法的不同。下面我们就来为大家介绍一下石英舟的清洗和饱和处理方法。

1、石英舟的清洗:将石英舟放入浓度为10%~25%的氢氟酸进行浸泡40min~120min后,放入喷淋槽用纯水喷淋,喷淋时间为20min~90min;

2、清洗后的干燥:用气体干燥剂(比如氮气)吹干石英舟;

3、石英舟的饱和:将石英舟放入炉温为800℃~900℃的管式扩散炉中,通入氧气和流量为1000~3000ml/min三氯氧磷液态源,其中氧气和三氯氧磷液态源的流量比为1:1~5;

4、Z后用10~30L/min的氮气或者氧气冷却石英舟。

采用上述清洗和饱和处理方法,具有以下显著有益效果:经过氢氟酸清洗的石英舟上的硅粉沉淀物松动,再放入喷淋槽用纯水喷淋,使得松动的硅粉沉淀物完全清除,再通过饱和工序中通过大流量的三氯氧磷液态源和氧气,使得存在“死角”部位的石英舟卡槽充分吸收磷原子,石英舟在进行初次运载硅片进行扩散时,硅片上将不会产生卡槽印,从而保证石英舟的品质。

好了,通过我们的介绍,相信大家对石英舟的清洗和饱和处理方法都有所了解,东海县国宏石英制品有限公司是多年生产石英舟的厂家,质量可靠,需要咨询的可以联系我们哦。

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